Koyo热系统垂直炉

垂直炉用于在半导体器件制造期间处理晶片 - 包括用于成膜,退火和树脂膜硬化。这些批量处理炉具有垂直布置的石英管,其将放置在管周围的物体加热以进行处理。晶圆装入称为船的石英储存架上,从工艺管的底部装入/卸载。通过最小的颗粒生成,炉子提供出色的温度分布和大气控制。此外,自动晶圆和船舶转移使得可以进一步提高生产率。
传统的卧式炉容易出现批次内和晶圆表面膜厚不均匀、颗粒和天然氧化膜产生的问题,而且由于晶圆直径的增加,设备本身需要更多的面积。然而,立式炉并没有受到这些问题的限制,这也是其主流普及的原因之一。

Koyo thermosystems于1970年推出日本Tempress品牌的水平热处理系统,进入半导体制造设备市场。
自那以后,该公司提供了广泛的热处理技术,在日本和世界各地的半导体行业的增长和发展中发挥了作用。
我们专注于我们擅长的细分市场,并努力开发这些市场需要的新技术和设备。
Koyo Thermo Systems的能力提出各种设备 - 从小批量生产设备进行研究和开发和最先进的设备,以满足满足客户要求的令人满意的结果。

竖炉系列

产品
VF-5900 300mm大批量

vf - 5900300mm.大批次

VF-5700.300mm.小批

vf - 53008英寸大批次

vf - 51008英寸广泛的批量

vf - 30008英寸低成本迷你批量

vf-1000.小生产和研发

vfs - 4000大孔立式炉

外维数 W1250 × D3200 × H3450 mm W1250 × D2000 × H2850 mm W900 × D2300 × H3300 mm W1000×D1950×H3300 mm W1200 × D1450 × H2610 mm W1500 × D1000 × H2130 mm 不同的规格
平区长度 1040毫米 500毫米 960毫米 360至960毫米 360毫米 到250毫米 不同的规格
晶圆尺寸 300毫米 300毫米 6到8英寸 4到8英寸 4到8英寸 到8英寸 不同的规格
批量尺寸 100晶片 50片 150个晶片 最大限度。150个晶片 最大75个晶圆片(50个8英寸晶圆片) 到25个晶片 20到25个晶圆
库存数量 16个福服 - 20个档案 4到8个外壳 4到8个外壳 - 不同的规格
机器人手指 5晶圆+单晶片 5晶圆+单晶片 5晶圆+单晶片 5晶圆+单晶片 单晶圆 - 单晶圆
万言词 半导体,SiC电源半导体,MEMS,VCSEL,PV(光伏) FPD.

相关解决方案案例

竖炉优化设计

灵活的设备布局

可以将连接到炉子的燃气盒等移动到后侧或地板下方,而不仅仅是前面或背面。我们可以解决设备区域的限制,提高设备的可维护性。

资金前侧气箱一楼

竖炉的例子

  • 支持气体箱布局变化
  • 在大气压下使用液体源进行处理
  • 支持硒化(SE)/硫化处理
  • 真空支撑对大孔炉(G4尺寸或更大)
  • 碳纳米管生长设备
  • 支持80μm及以上薄晶片
  • 扇出wafer-enabled设备
  • 基材支持大型,FPD聚酰亚胺固化板
  • 支持湿真空加工
  • 支持干真空(氧分压控制)处理
  • 支持使用CLF的原位清洁3.
  • 支持石英盒的加工散装运输
    【摘要】将带晶片的石英盒按原形转移、堆叠,并在此状态下进行热处理。
  • 支持扁平Poly-Si(没有温度倾斜)

*支持根据模型而异。

示范和测试领域

综合制造商的热处理设备,解决了超出了不同领域的热处理问题,超出了田地和地区的界限

从研发设备到生产设施,汇集主要业务领域的技术人员,进行新产品和技术开发的振兴,安装实验和评估示范设备,Koyo热系统不仅开发自己的流程,而且提供系统,可用于客户的预测试和性能评估。

在实验室内,必须保证空气洁净度达到10级以上。

常问问题

  • 问: 你们经营什么样的热处理设备?
    一种

    我们处理热处理设备,可以加热或添加活性气体的材料,如硅晶片,金属,橡胶,玻璃,塑料和精细陶瓷在薄膜形成过程中,以改变这些材料的特性。

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  • 问: 你能生产产品页面上没有列出的产品吗?
    一种

    请向我们发送您的要求。我们将提出最佳的设备规格。有关更多信息,请联系我们。

    请点击此处查找查询。 技术/解决方案
  • 问: 我可以提前验证这个过程吗?
    一种

    我们不外借任何产品,但我们可以进行演示来验证产品的性能。如果您有任何演示要求,请与我们联系。

    请点击此处查找查询。 示范设施
  • 问: 我担心我能否操作和维护新购买的设备。
    一种

    我们在提供购买设备之前提供培训,以便客户和他/她的工作人员可以毫不担心地使用设备。如果您在交货后有任何疑问,我们还通过电话或电子邮件提供支持。请联系我们的销售代表。

    支持

关于Koyo Thermo Systems

构成工业基础的成形和制造材料的金属部件、陶瓷等;支持最新技术的半导体和电子元件;丰富人们生活的显示器和控制全球环境污染的新一代电池;和创造所有这些行业的实验性发展——毫不夸张地说,Koyo热系统公司创造的热处理设备涉及我们生活中的所有行业。以“技术树”所创造的独特技术,融合了跨越半个世纪培育的五片“技术叶”,继续为世界各个领域贡献力量。

国际办公室

总公司

1。日本(Tenri)

Koyo Thermo Systems Co。,Ltd。

  • 2。韩国(京畿道)

    Koyo Thermo Systems韩国有限公司

  • 3.中国(上海)

    Koyo Thermo Systems Trading(上海)有限公司

  • 4.台湾(台北)

    Koyo Thermo Systems Asia Co。,Ltd。

  • 5。台湾(台中)

    Koyo Thermo Systems亚洲技术服务办公室

  • 6。泰国(曼谷)

    Koyo Thermo Systems(泰国)有限公司。,Ltd。
    Koyo Thermo Systems CS(泰国)有限公司

  • 7。美国。

    Sandvik Thermal Process,Inc。

  • 8。德国

    Crystec Technology Trading GmbH

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