我们半导体设备的特点亚博体育苹果版怎么下载

适合各种应用的成熟技术

半导体的应用是无限地不断增长的。半导体用于制造高密度的大晶片器件,如CPU和内存芯片,Si/SiC功率半导体,包括IGBT和MOSFET,用于打印机头和传感器的MEMS器件,以及作为清洁能源而受到关注的太阳能电池。在这种情况下,Koyo热系统,这是一个单一业务公司专注于热处理系统,提供了各种半导体制造系统的多样性,设置其核心LGO加热器的温度特性优越,实现低首席运营官(拥有成本)回应客户的需求。

1.维护

我们的设备的基本设计特点是侧免维护结构,使我们的设备可以在接近的间隔安装在一个平行配置。

2.薄圆片的支持

我们在我们的薄晶片载流子中采用了伯努利载流子以适应IGBT退火过程等。此外,采用石英船和特殊的输送盒降低了翘曲薄晶圆的风险。

3.低温特性

我们专有的LGO加热器在低温控制方面非常出色,这对于某些类型的炉来说是一个困难的能力。现在,即使在低至150°C至300°C的温度下,稳定的加工也是可能的。

4.不含金属的支持

在无金属环境中加工是可能的,因为没有使用真空装置——即使是使用有害气体如H2NO和NH3.,可能是金属污染源。

5.快速爬坡和冷却系统

我们专有的LGO加热器也专门从事快速加热。此外,它还减少了爬升和冷却所需的时间。当它与强制冷却系统结合使用时,高通量是可能的。

6.N2负载锁定系统

可以在N2气氛中对垂直炉晶圆船和卸料区域进行输送。

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