模型206A水平炉PV生产

该水平炉适用于太阳能电池和光伏(PV)电池生产。100至156平方晶片可以在200至400个晶圆的一批200至400个晶片中进行质量加工。

特征

  • 在国内市场分享1号
  • 把100到200毫米的方形晶片
  • 批次:200至400个晶片处理可用(取决于平坦区域长度和晶圆间距)
  • 快速加热和冷却,使用KTS'独家LGO加热器降低功率

概述

该太阳能电池和光伏(PV)电池制造水平炉加工125毫米平方和156毫米方形光伏电池和6寸和8英寸晶片。太阳能电池和光伏(PV)电池的最佳炉生产,可采用磷扩散,硼扩散,热原氧化,湿氧化,干燥氧化,退火和其他晶体系统热加工,使用POCL3,BBR3和其他材料。

规格

外尺寸(mm) W850 x L6700 x H2500 mm(三级炉)
加热器 LGO加热器
平区长度 1000毫米
温度。控制 3到5个区域
转移设备 船装载机
制造文章 3至8英寸硅晶片
125至156毫米平方晶圆

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