解决方案案例 [case-002]建立VCSEL流程

  • 热氧化
  • VF-3000(B)

采用特殊的VCSEL工艺专用炉可显著提高产量。

支持过程 热氧化
介绍的型号 VF-3000(B)

问题

我们讨论了VCSEL(表面发射激光器)AIAs层低温湿氧化过程的再现性的挑战。

解决方案

  • 高维温度再现性证明在这个过程中是可能的,所以我们的专有LGO加热器被采用。
  • 为了提高湿空气的可控性,我们采用了汽化器和专有的炉膛结构。
  • 在演示过程中验证了该过程。
  • 我们建议客户考虑一个低成本的VF3000自动转移,客户购买我们的建议。

结果

  • 孔径变化减少了一半,从而大大提高了产量。大规模生产的潜力被发现了。