解决方案案例 [case-003]降低初始成本

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  • VF-3000H型

提供有价值的碳化硅活化退火设备

支持过程 激活
介绍的型号 VF-3000H型

问题

由于SiC活化过程需要极高的温度(1800℃),因此设备成本可能很高。

解决方案

  • 我们试图通过开发没有真空支撑的设备来降低初始成本,这是成本高的主要原因。
  • 我们用演示装置进行了演示,并确认了该工艺的可行性。

结果

  • 通过演示过程中的事先检查,客户能够验证过程是否顺利进行。
  • 实现了每批50片硅片的规格和自动转移,与常规设备相比,成本降低了30%~50%。