解决方案案例 [case-006]提高FPD应用的产量

  • 金属接触退火(用于平板显示器)
  • 熔块烧成(用于平板显示器)
  • 脱氢(用于FPD)
  • 激活(用于FPD)
  • 固化(FPD)
  • VFS-4000型

达到半导体制造设备清洁度水平的热处理

支持过程 固化(用于FPD)、活化(用于FPD)、脱氢(用于FPD)、熔块烧成(用于FPD)、金属接触退火(用于FPD)
介绍的型号 VFS-4000大口径竖炉

问题

在平板显示器(fpd)的热处理过程中,尤其是OLED和高温多晶硅(Poly-Si)液晶的热处理过程中,由于粒子的产生会降低成品率,因此需要达到半导体制造清洁度水平的热处理设备。

解决方案

  • 我们利用石英等制成的非金属腔体,开发出与大型基板兼容的设备。

结果

  • 我们能够用这种设备用很少的颗粒来完成这个过程,从而提高了产量。