解决方案的情况下 [case-009]低温范围竖炉节能

  • 聚酰胺固化
  • vf - 3000 (B)

通过优化保温设计提高竖炉的节能效果

支持流程 聚酰胺固化
模型介绍 VF-3000低成本小批量竖炉
vf - 1000

问题

垂直式炉配备我们LGO加热器(Moldatherm)可以执行广泛的高质量的热处理从低温度(200度- C)高温(1150度- C)。随着节能工作,我们专注于加工炉高温mid-temperature范围(600 - 1100摄氏度)到目前为止,但当使用高温至中温加工炉作为低温范围专用生产线时,出现了用于加热保温材料的电量过大的问题。

解决方案

  • 研发出专用于低温范围的LGO加热器。
  • 优化了工作温度范围内保温材料的热容量和散热平衡。
  • 制作了一个加热器样机,并验证了其性能。

结果

  • 降低功耗:1.1kWh/运行*
  • 减少公司2排放:742公斤/年*
    (备注*:计算示例的条件)
    应用范围:聚酰胺固化
    处理晶圆:6英寸× 75晶圆
    每年加工次数:6次/天× 300天/年

图