解决方案案例 [案例-011] CNT(碳纳米管)生长系统

  • 氮化物,氧氮化物
  • vf-1000(h)

大直径晶片的CNT(碳纳米管)生长系统

支持过程 CNT(碳纳米管)生长
模型介绍 VF-1000LP.

问题

客户在小直径管炉中进行测试,但目的在于晶圆尺寸的目的,他们正在寻找一种能够生产能够从示威性加工的设备的制造商。

解决方案

  • 客户使用我们的设备进行了演示,即使晶片直径增加,也可以预期碳纳米管增长。
  • 我们提出了VF-10000LP,碳纳米管增长所需的乙烯和乙炔等乙烯和乙炔,客户提出了我们的推荐。

结果

晶片纳米管生长过程中可以增加晶片直径。