解决方案的情况下 [case-014]易损坏薄片的处理

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解决由薄晶圆的破裂和切屑引起的运输问题

支持流程 退火
模型介绍 模型vf - 5100

问题

薄晶圆容易发生较大的不规则变形,如晶圆翘曲和弯曲。因此,当晶片在晶片盒和石英船之间由机器人传送进行加工时,超过允许传送量的晶片可能会因接触等原因损坏,无法进行稳定的加工。

解决方案

更改为不在热处理设备中运输晶圆的规范。它把晶圆盒换成了石英盒,使薄片石英盒的运输成为可能。

结果

通过用盒传送薄晶圆而不直接接触晶圆,可以在不受变形(如晶圆翘曲或弯曲)影响的情况下实现稳定传送。