解决方案案例 [case-015]大批量清洁烘箱系统

  • 其他
  • 二氧化硫-12-F

将批数增加一倍以提高生产率

支持过程 其他(后端应用程序)
介绍的型号 二氧化硫-12-F

问题

热处理室中可储存的批次数为25个晶片/室。因此,为了增加要加工的晶圆数量,有必要增加一个腔室,增加安装面积和成本。

解决方案

  • 在不增加占地面积的情况下,我们增加了热处理室的容量,并将可存储的批次数量增加了一倍,达到50个晶圆/室。

结果

  • 一次可加工的晶圆数量翻了一番,生产率也提高了。
  • 降低了初始成本和运行成本。