解决方案案例 [案例-016]低成本大孔立式炉

  • 固化(FPD)
  • VFS-4000

通过优化所需功能,大孔立式炉的成本降低

支持过程 聚酰亚胺固化(F-OLED)
模型介绍 VFS-4000

问题

  • VFS-4000是一种能够高质量的热处理的半导体规格的大孔立式炉。
  • 但是,当用于烘烤柔性OLED基板时,设备价格将高于市场价值。

解决方案

  • 采用预制结构室使用耐热玻璃
  • 玻璃底板储存架,提升机构,排气控制方法等整个设备的彻底分析和结构变化

结果

  • 高质量的热处理以合理的设备价格成为可能。