解决方案的情况下 [case-017]适用于扇出式晶圆和硅晶圆的清洁烘箱系统

  • 聚酰胺固化
  • SO2-12-F

使一个干净的烘箱系统可以同时用于扇出式晶圆和硅晶圆的处理

支持流程 聚酰亚胺固化
模型介绍 SO2-12-F

问题

由于扇出型晶圆在FOWLP的制造过程中发生翘曲,扇出型晶圆传送机器人的晶圆船和手指与硅晶圆传送机器人不同。因此,扇出式晶圆的传输系统和烘箱系统不能用于硅晶圆,反之亦然。

解决方案

  • 使扇出式晶圆船和硅晶圆船放置在同一腔室中
  • 根据所加工的晶圆,通过交换手指,可以用一个机器人将两艘船转移
  • 添加传感器来检测哪一种船被转移

结果

  • 扇出式晶圆和硅晶圆都可以用一个干净的烘箱系统进行加工。